BA-MAD2-NY系列_MEMS光纤双轴加速度传感器

BA-MAD2-NY系列 MEMS 光纤双轴加速度传感器 是一种双正交单分向的宽频带加速度传感器，是建立在微米/纳米技术基础上的21世纪前沿技术。该系列传感器将加速度检测质量块、弹性支撑体、光学反射微镜、光入射及出射波导直接集成在一个微小的芯片上，真正实现了对加速度信号的全光检测和传输。该系列的MEMS光纤加速度传感器结构紧凑，采用尼龙材质对MEMS加速度芯片进行封装，绝缘性好，且低频从0Hz开始，具有平坦的频率特性响应、相位呈线性变化，技术参数一致性好、性能稳定可靠。